FL-3S

フレネルレンズを搭載した高精度露光装置です。新真空システムでスクリーン版枠の歪みを軽減し、さらに配光バランスを向上させました｡スクリーン枠装置と､PDP用の大型装置の2種類をラインアップさせています。

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