USH

超高圧UVランプは、紫外線波長の中でも、とくにフォトリソグラフィ光源に最適な3線（436nm・405nm・365nm）を有効に活用できるように開発されており、長寿命で安定した放射照度を持つ高輝度光源です。\アークサイズが極めて点光源に近いため、光学系での光の集中・拡散が容易で、均一な照度分布が得られます。\半導体、液晶・カラーフィルター・PDP、プリント基板用回路焼き付けなど、回路とパターン焼き付け照度ニーズの高まりに対して、小型（100wクラス）～超大型（35kwクラス）まで、幅広いラインアップで対応します。

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