産業機械・資材

光学装置

半導体、マイクロデバイス、LED、LCD、太陽電池、プリント基板などの製造用から印刷、写真製版用と多彩な種類の露光装置を取りそろえています。また、UV照射装置、光検査装置、多目的光学ユニットをはじめ、露光用各種UVランプ、クセノンランプ、メタルハライドランプ、ハロゲンランプを提供します。

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スペクトロラディオメータ スペクトロラディオメータ UVに対応した紫外線照度計、積算光量計から、波長ごとの絶対表示が可能なスペクトルラディオメータまで用意しています。
紫外線積算光量計・照度計 紫外線積算光量計・照度計 UVに対応した紫外線照度計、積算光量計から、波長ごとの絶対表示が可能なスペクトルラディオメータまで用意しています。
オプティカルモデュレックス オプティカルモデュレックス ウシオの超高圧UVランプ、Deep UVランプ、クセノンショートアークランプ用の汎用型点灯装置です。「光源」「光量」「照射方法」など、求めれるスペックを、標準化された豊富な光学モジュールを組み合わせてつくります。これにより、短納期、低価格を実現しました。
スポットキュア スポットキュア 約30年間にわたり培ってきた光システム技術を活かした「スポットキュア シリーズ」の最新モデル「SP-9」です。 高出力250W低減衰ランプで、200W入力も可能にしました。縦・横置き自由で、使いやすさを追求し、さらに環境にも配慮したエコタイプです。
ユニキュアシステム ユニキュアシステム ハイパワー、コンパクト、低温処理を実現するUV硬化・乾燥装置です。「樹脂の特性に合わせてランプ( メタルハライドランプ 、 高圧UVランプ)を選ぶ」 「ワークサイズにぴったりな照射幅を選ぶ」「必要なUV強度に応じてランプ入力を選ぶ」など組み合わせも多彩で、あらゆるご要望に応じた最適な光をご提案します。
マルチライト マルチライト マルチライトは、均一照射光源として、精密パターン露光、半導体素子デバイスのパターン露光、ウェハ露光など、さまざまな用途に使用されます。
ユニレック ユニレック 製版焼付用光源装置です。
FL-3S FL-3S フレネルレンズを搭載した高精度露光装置です。新真空システムでスクリーン版枠の歪みを軽減し、さらに配光バランスを向上させました。スクリーン枠装置と、PDP用の大型装置の2種類をラインアップさせています。
ロールtoロール ロールtoロール タッチパネル、電子ペーパー、液晶ディスプレイ、有機EL、太陽電池といったフレキシブルプリント基板(FPC)の回路形成を行うための装置です。ロールtoロールでピッチ送りしてドライフィルム上にパターンを焼き付ける製品群をラインアップさせています。
マスクアライナ マスクアライナ 半導体製造のフォトリソグラフィ工程において、ウェハー、ガラス基板に対してガラスマスクとワークをアライメントし、微細なマスクパターンを転写する装置です。片面、両面、完全自動型など、ご要望に応じた装置の開発を行います。
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